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　　近日，作为基地首批签约孵化项目之一 ，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试
，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀 ” 。

　　爱建证券指出 ，SEMI数据显示
，2024年全球光刻设备市场规模达295.7亿美元，Mordor Intelligence预计全球光刻机市场规模到2029年将达378.1亿美元 ，2024-2034复合增长率为5.0%
。在国产半导体产业链的通力合作下
，越来越多的国产光刻机产业链企业取得显著进展，建议关注相关的投资机会。

　　据财联社主题库显示 ，相关上市公司中：

　　博众精工表示，2024年下半年博众仪器正式发布热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和高稳定度恒流源
，这些产品不仅是透射电子显微镜的关键部件，还可以用于扫描电镜 、聚焦离子束
、电子束光刻机等领域设备 。

　　路维光电90nm、40nm在光刻机方面都需要使用电子束光刻机搭配干法制程技术 ，公司已经针对半导体掩膜版在电子束光刻 、干法制程等技术方面开展了相应研究
，不断进行技术突破
。

（文章来源：财联社）